Lexikon

Begriffe und Definitionen

Abklingen: Bei wiederholter Beprobung eines Objekts stellt sich eine Abnahme der Partikelfracht ein.

Absaugvorrichtung: Gerätschaft zur Entnahme von Flüssigkeit aus schwer zugänglichen Bereichen eines Objekts.

Agglomerat: Gruppe von Partikeln, die durch Adhäsionskräfte zusammengehalten wird.

Aktive Komponente: Aggregat, dessen Funktion darin besteht, einen Volumenstrom zu fördern oder zu sperren; z.B. Pumpe, Ventil.

Analysefilter: Filterscheibe definierter Feinheit und Materialbeschaffenheit, zur Aufnahme der Partikelfracht der Analyseflüssigkeit.

Analyseflüssigkeit: Flüssigkeit, welche die zu analysierende Partikelfracht enthält.

Analysevolumenstrom (bei OPZ): Durchflussrate durch den Sensor zur Analyse und Kalibrierung.

Aufreinigen: Vorgang, um eine Flüssigkeit oder technische Einrichtung in einen geeigneten Sauberkeitszustand zu versetzen.

Aufreinigungsfilter: Filter zur Entfernung von Partikeln aus der Prüfflüssigkeit, mit einer zur Sauberkeitsprüfung geeigneten Filtrationsleistung.

Äquivalenter Kreisdurchmesser (bei OPZ): Durchmesser eines Kalibrierpartikels, das im Partikelsensor das äquivalente Signal erzeugen würde, wie das analysierte Partikel.

Bauteil: siehe Objekt

Bauteilgruppe: Objekte, die anhand einer gleich lautenden Prüfspezifikation zutreffend auf Sauberkeit geprüft werden können.

Bauteiltyp: Objekt, das prüftechnisch einer Bauteilgruppe zugeordnet werden kann.

Behältnis: - auch Verpackung. Für Lagerung und Transport von Prüfobjekten geeignete Umhüllung.

Benetzte Fläche: Die dem Betriebsmedium ausgesetzte Fläche bzw. die bei der Prüfung zu benetzende Fläche; je nach individueller Vereinbarung.

Benetztes Volumen: Das vom Betriebsmedium ausgefüllte Volumen bzw. das bei der Prüfung zu erfassende benetzende Volumen; je nach individueller Vereinbarung.

Beprobung: siehe Extraktion.

Beprobungsbedingungen (bei Extraktion): Gesamtheit der physikalischen, chemischen und technischen Bedingungen zur Ablösung der Partikelfracht von Bauteilen; z.B. Art des Beprobungsverfahrens, Druck, Dauer, Flüssigkeitsmenge, Art der Prüfflüssigkeit, Ultraschallleistung u. v. m..

Beprobungsbehälter: Behältnis zur Aufnahme des Prüfloses sowie zur Sammlung der anfallenden Prüfflüssigkeit bei der Sauberkeitsprüfung, z.B. Ultraschallwanne, Spritzwanne, Trichter, Becherglas.

Blindwert: Gesamtwert für nicht vom Bauteil stammende Verunreinigungen, wie sie z.B. durch Umgebung, Gerätschaften und Personal bei der Prüfung eingetragen werden können.

Cleanliness Code: Verschlüsselte Kurzdarstellung der Partikelgrößenverteilung eines Objekts.

Cleanliness level: siehe Sauberkeitswert.

Contamination Level: Bereich für die Partikelanzahl, gekennzeichnet durch die zugehörige Codierungszahl; z.B. steht die Codierungszahl 5 für eine Anzahl von 16 bis 32 Partikeln.

Detektionsvolumen (bei OPZ): Bereich der Messzelle des Partikelsensors in dem die Partikelerkennung innerhalb der Analyseflüssigkeit erfolgt.

Delay time (bei OPZ): Einstellbare Zeitspanne zwischen zwei Zählintervallen während der der Sensor keine Partikel registriert.

Differenzielle Größenverteilung: Darstellung der Partikelanzahl, deren Größe innerhalb bestimmter Klassengrenzen liegt; z.B. alle Partikel 50 ≤ x < 100 [μm].

Dynamischer Bereich (bei OPZ): Abstand zwischen dem kleinsten und größten noch detektierbaren Partikel.

Effektive Filterfläche: Fläche, die bei der Filtration benetzt wird und auf der die Partikel abgeschieden sind.

EDX-System: System mit dem energieaufgelöste Röntgenspektren (Energy Dispersive X-Ray) zur Elementanalyse aufgenommen werden können.

Einzelbeprobung: Aufeinanderfolgende Beprobung der im Prüflos enthaltenden Bauteile.

Ersatzobjekt: Rohr- bzw. Schlauchstück, das bei der Aufreinigung und Blindwertbestimmung des Spülstandes als Ersatz für das Bauteil eingebaut wird.

Extinktion (bei OPZ): Durch ein Partikel hervorgerufene Veränderung der Intensität eines Lichtstrahls bedingt durch Absorption und Streuung.

Extraktion: - auch Beprobung. Prozedur zur möglichst vollständigen Übertragung der Partikelfracht von der Kontrollfläche auf die Prüfflüssigkeit, zur messtechnischen Analyse.

Filterbasiertes Verfahren: Analysemethode für Partikel in Flüssigkeiten oder Gasen, bei der die Partikelfracht zur messtechnischen Charakterisierung auf einem geeigneten Analysefilter abgeschieden wird.

Filtrationseinheit: Einrichtung zur Aufnahme des Analysefilters.

Freispülen: Anwendung von Flüssigkeit zur Herstellung der reproduzierbaren Grundsauberkeit einer Prüfeinrichtung.

Gesamtbeprobung: Gleichzeitige Beprobung aller im Prüflos enthaltenden Bauteile.

Gravimetrische Analyse: Bestimmung der Partikelfracht über den Massenzuwachs eines Analysefilters, nach Filtration der Analyseflüssigkeit.

Größenklasse: – auch Size Class: Nach unten und oben abgegrenzter Bereich für die Größendimension von Partikeln.

Isolierung: Bereiche des Objekts, deren Teilchenfracht nicht prüfungsrelevant ist, werden mit geeigneten Mitteln von der Beprobung ausgeschlossen; z.B. durch Verstopfen, Lackieren, Maskieren, Versiegeln, Festlegung nicht zu beprobender Flächen, Markieren

Kavität: Konstruktiv bedingter Hohlraum des Bauteils (z.B. Sackloch), der lageabhängig zu Gaseinschluss und in Folge dessen, zu unvollständiger Benetzung von Kontrollbereichen führen kann.

Koinzidenz: Ansammlung bzw. Verbund von Partikeln in der Analyseflüssigkeit oder auf dem Analysefilter, die vom Messsystem nicht als einzelne Partikel detektiert werden können.

Kontrollfläche: Teilfläche oder Summe von Flächen eines Objekts, die Gegenstand technischer Sauberkeitsanforderungen sind.

Kontrollvolumen: Teilvolumen oder Summe von Hohlräumen eines Objekts,die Gegenstand technischer Sauberkeitsanforderungen sind.

Kritisches Partikel: - auch Killerpartikel: Teilchen spezifischer Beschaffenheit, dessen Vorhandensein - nach Stand des Wissens - die Qualität des Bauteils beeinträchtigt.

Kumulative Größenverteilung: Darstellung der Partikelanzahl, deren Größe oberhalb einer Klassengrenze liegt; z.B. alle Partikel ≥ 50 μm.

Luftreinheitsklasse: Partikelfracht der umgebenden Luft, die eine festgelegte maximale Partikelgrößenverteilungssumme pro Volumen für definierte Partikelgrößen im Ruhezustand des Prüfbetriebs nicht überschreitet. Klassifizierung z.B. nach DIN EN-ISO 14644-1; Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche.

Messen: Messen ist der experimentelle Vorgang, durch den ein spezieller Wert einer physikalischen Größe als Vielfaches einer Einheit oder eines Bezugswertes ermittelt wird (DIN 1319).

Nachbehandlungsflüssigkeit: Flüssigkeit, die außer der Prüfflüssigkeit zur Extraktion oder Analyse erforderlich ist; z.B. Lösemittel als Nachspülflüssigkeit für das Analysefilter, um z.B. Fettrückstände auszuwaschen.

Nachweisempfindlichkeit: Untere Grenze bezüglich der Detektierbarkeit.

Nachspülflüssigkeit: Analyserelevante Prüfflüssigkeit zur Entfernung und Aufnahme der bei der Extraktion auf den Oberflächen des Prüfobjekts oder der Prüfeinrichtung eventuell verbliebenen Partikel.

Nullzählrate (bei OPZ): Im Zählmodus angezeigte Partikel pro Zeit, wobei der Sensor mit sauberer nicht strömender Flüssigkeit befüllt ist.

Obere Größennachweisgrenze (bei OPZ): Kleinste geometrische Dimension der Messzelle des Partikelsensors.

Obere Konzentrationsgrenze (bei OPZ): Anzahlkonzentration, ab der der Koinzidenzfehler mehr als 5 % beträgt [ISO 11500].

Objekt: - auch Bauteil: Sammelbegriff für Werkstücke, Komponenten, Baugruppen, Aggregate, Systeme, Erzeugnisse, Produkte und Verpackungen die einer Sauberkeitsprüfung unterzogen werden.

Optischer Partikelzähler (OPZ): Handelsübliches Messsystem zur Zählung und Größenbeschreibung von Partikeln in klaren Flüssigkeiten nach dem Prinzip der Extinktionsmessung, basierend auf der Kalibrierung mit Partikeln definierter optischer und geometrischer Eigenschaften.

Partikel: Partikel sind feste Körper aus Metall, Kunststoff, Mineralien, Gummi oder Salzen. Pastöse Anteile gelten nicht als Partikel.

Partikelfracht: An der Kontrollfläche eines Objekts befindliche Feststoffteilchen aus dem Fertigungsprozess und Umfeld; liegt das Objekt als Flüssigkeit vor, so handelt es sich um die darin befindlichen Partikel.

Partikelgröße (bei OPZ): der äquivalente Kreisdurchmesser, ermittelt mittels eines optischen Partikelzählers, der entsprechend den in diesem Dokument genannten Standards kalibriert wurde.

Partikelgrößenverteilung: Anzahl von Partikeln, dargestellt als Funktion der Partikelgröße.

Passive Komponente: Objekt, das zur Prüfung nicht angetrieben oder betätigt werden muss; z.B. Rohr, Gehäuse, Behälter.

Probengefäß: Behältnis, das Teilmengen oder die Gesamtheit der Analyseflüssigkeit enthält und zu Lagerung und Transport dient.

Probenzuführsystem (bei OPZ): Einrichtung zur strömenden Zuführung der zu analysierenden Flüssigkeit zum Partikelzähler.

Prüfeinrichtung: Anordnung und Zusammenwirken sämtlicher Gegenstände zur Sauberkeitsprüfung.

Prüfflüssigkeit: Mit Objekt und Prüfeinrichtung chemisch verträgliche Flüssigkeit, mit einer zur Abreinigung von Partikeln geeigneten Mindestsauberkeit und Reinigungswirkung.

Prüflos: Ein Prüflos umfasst mindestens ein Bauteil bzw. mindestens so viele Objekte wie erforderlich sind, um genügend Partikel zur Analyse zu erfassen.

Prüflosgröße: Anzahl der in einem Prüflos enthaltenen – gemeinsam zu analysierenden – Objekte.

Prüfspezifikation: Dokumentation, die auf Qualifizierungsuntersuchungen basierende Angaben zur (wiederkehrenden) Sauberkeitsprüfung eines Bauteils oder einer Gruppe von Bauteilen beinhaltet.

Qualifizierungsuntersuchung: Experimentelle Ermittlung der zur Sauberkeitsprüfung geeigneten Beprobungsbedingungen.

RE-Detektor: auch BSE-Detektor (Back Scattered Electron): Der Rückstreuelektronen-Detektor liefert REM-Bilder mit hohem Materialkontrast und kann zur automatisierten Detektion von Partikeln verwendet werden.

Reine Werkbank: Abgegrenzter Arbeitsbereich mit definierter Luftreinheitsklasse.

REM: Raster-Elektronen-Mikroskop: Hochauflösendes Mikroskop, bei dem die Abbildung durch Abrastern einer Probe mit einem fokussierten Elektronenstrahl im Vakuum erfolgt.

Routineprüfung: Wiederkehrende Sauberkeitsprüfung eines Bauteils basierend auf einer geeigneten Prüfspezifikation.

Rückstandsgewicht: Mittels gravimetrischer Analyse ermittelter Wert für die Partikelfracht (ehemals Restschmutzgewicht).

Sauber: Der ermittelte Sauberkeitswert erfüllt die Forderungen bezüglich Grenzwert bzw. Contamination Level.

Sauberkeitsgerecht: den Sauberkeitszustand nicht beeinträchtigend.

Sauberkeitsmerkmal: Messbare Eigenschaft der Partikelfracht; z.B. Partikelart, Größendimension, Masse.

Sauberkeitsprüfung: Prozedur zur quantitativen Beschreibung der Partikelfracht.

Sauberkeitsspezifikation: Zusammenstellung der Sauberkeitswerte oder des Cleanliness Code für ein Objekt, verbunden mit einer geeigneten Prüfspezifikation.

Sauberkeitswert: - auch Cleanliness Level: Für ein Sauberkeitsmerkmal geforderter oder ermittelter Wert; z.B. Partikelanzahl oder Rückstandsgewicht.

Sensorvolumenstrom (bei OPZ): auch Analysevolumenstrom. Zulässige Durchflussrate wie sie zur Kalibrierung des Partikelsensors und zur Analyse von Flüssigkeiten einzustellen ist.

Sonotrode: Stabförmiger Körper zur lokal anwendbaren Übertragung von Ultraschall auf dessen Umgebung. .

Spritzdruck: Statischer Druck zur Erzeugung des Spritzstrahls, zu bestimmen am Druckbehälter oder nahe der Austrittsöffnung.

Spritzdüsengeometrie: Form einer Strahlaustrittsöffnung, spezifiziert in Form geometrischer Abmessungen.

Spritzen: Lokal anwendbares Aufbringen von Prüfflüssigkeit auf das Bauteil über einen Freistrahl.

Spritzlanze: Gebilde zur Prüfung inner Geometrien eines Objekts, ausgestattet mit einer oder mehreren Spritzdüsen.

Stabilisierungszeit (bei OPZ): Zeitraum, der zur Beruhigung einer Flüssigkeit erforderlich ist, um das Vorhandensein messbarer Gasblasen auszuschließen.

Turbulente Strömung: Flüssigkeitsstrom, in dem Richtung und Betrag der Geschwindigkeit von Partikeln ortsabhängig und schnell variiert.

Ultraschall: mechanische Schwingung mit einer Frequenz von 20 kHz bis 400 kHz.

Vereinbarung zur Sauberkeitsprüfung: Schriftliche Vereinbarung mit Angaben über die Sauberkeitsspezifikation und Prüfspezifikation für ein Bauteil oder eine Bauteilgruppe.

Validierung: Bestätigung durch Bereitstellung eines objektiven Nachweises, dass die Anforderungen für einen spezifischen beabsichtigten Gebrauch oder eine spezifische beabsichtigte Anwendung erfüllt worden sind (ISO 9000).

Zweifachprüfung: Ein Prüfobjekt oder Prüflos wird zwei Mal unter vergleichbaren Bedingungen beprobt, um festzustellen, dass ein ausgearbeitetes Beprobungsverfahren das festgelegte Kriterium zur Abreinigungswirkung erfüllt und damit die nachweisrelevanten Partikel zutreffend erfasst.