Partikelanalyse mittels Rasterelektronenmikroskopie und 3D-Auswertung
Die reale 3D-Darstellung und Analyse größter detektierter Partikel gewinnt immer mehr an Bedeutung um das Schädigungs-
potenzial eben dieser Partikel zu bewerten und zu analysieren. Um zu ermitteln welche Einflussgrößen vorhanden sind und
um gezielter Korrektur- und Abstellmaßnahmen erarbeiten und einleiten zu können.
Da modernste REM-Systeme über hochpräzise 5-achsige CNC-gestützte Probentische und Mehrfachprobenträger aufweisen, kann nun mittels einer speziellen Software ein reales 3D-Volumenmodell der betreffenden Bauteile rekonstruiert werden.
Somit ist in allen 3 Raumachsen eine vollwertige 3D-Messfunktionalität direkt in den Mikroskopbildern gegeben und möglich.
Mit dem von der Quality Analysis GmbH eingesetzten Softwaremodul MeX® wird das REM zu einem vollwertigen 3D Messgerät. Diese 3D Messungen werden direkt im optischen Bild durchgeführt. Zudem visualisiert MeX® die Topografie der Probe als dichtes Volumenmodel. Basierend auf Stereobildern die durch die 5-achsige räumliche CNC-Verkippung generiert werden, erzeugt diese Software vollautomatisch einen 3D Datensatz. Mit der einzigartigen AutoCalibration Routine werden die Kalibrierdaten automatisch noch verfeinert. Damit werden rückführbare 3D Messungen bei jeder Vergrößerung im REM zugesichert.
3D-Darstellung eines Partikels nach der Detektierung und vor der Vermessung.
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